Fourniture d'un équipement de stripping plasma 200mm

Description

La présente consultation porte sur la fourniture d'un équipement de stripping plasma 200 mm pour le CEA Grenoble. Lot 1: L'équipement visé est un outil de 200 mm permettant de décaper des plaquettes de silicium, de verre et de silicium sur verre de 200 mm. Le module de traitement doit être équipé d'une source de plasma micro-ondes à distance en aval et d'un système de chauffage de la face arrière des plaquettes avec la possibilité de modifier facilement et rapidement la température des plaquettes. L'équipement doit être équipé d'une station de refroidissement pour assurer le transport des plaquettes. Un système de détection automatique du point final doit être intégré. Option n°1 : Système de détection Endpoint (Chiffrage obligatoire) Option n°2: Heat exchangers and chillers (Chiffrage facultatif) Option n°3: Transformateur électrique (Chiffrage facultatif) Option n°4 : Transport DAP CEA Grenoble Il a été indiqué 1.00 à la rubrique "montant" uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.