Fourniture d'équipements de METROLOGIE

Description

Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de métrologie suivants pour le compte du CEA/LETI : LOT n°1 : Equipement de caractérisation FTIR LOT n°2 : Equipement de mesure de défectivité non-patternée LOT n°3 : Microscope électronique à balayage pour contrôle dimensionnel CD-SEM LOT n°4 : Equipement d’analyse physique de contamination métallique TXRF LOT n°5 : Plateforme de préparation d’échantillons FIB et d’observation par TEM Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7. Lot 4: Equipement d’analyse physique de contamination métallique TXRF Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de mesure de contamination métallique de surface par TXRF. Il devra être équipé de plusieurs faisceaux de rayons X permettant de quantifier les éléments du 11Na jusqu'au 92U. Cet équipement devra être capable de traiter des plaques de diamètre de 150 mm, 200 mm et 300 mm sans exclusion de bord, avec chargement automatique des plaques disposées dans un FOUP 300 mm ayant des inserts 200 et 150 mm. Il a été indiqué 1.00 à la rubrique "montant" uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.