Fourniture d'équipements de METROLOGIE

Description

Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de métrologie suivants pour le compte du CEA/LETI : LOT n°1 : Equipement de caractérisation FTIR LOT n°2 : Equipement de mesure de défectivité non-patternée LOT n°3 : Microscope électronique à balayage pour contrôle dimensionnel CD-SEM LOT n°4 : Equipement d’analyse physique de contamination métallique TXRF LOT n°5 : Plateforme de préparation d’échantillons FIB et d’observation par TEM Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7. Lot 1: Equipement de caractérisation FTIR Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de caractérisation de matériaux par infra-rouge par Transformée de Fourier (FTIR). Il devra fonctionner en modes réflexion et transmission et devra offrir une gamme spectrale couvrant au moins la gamme 4000cm-1 to 400cm-1. Cet équipement sera utilisé pour des applications de microélectronique sur des plaques de diamètre 300 mm, et devra en complément offrir la possibilité d'effectuer des mesures en 200 mm. Il a été indiqué 1.00 EUR à la rubrique "montant" uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.