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Fourniture et installation d’un groupe de pompage et système d’abattement pour un équipement de gravure LAM VERSYS 5
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Description
La présente consultation a pour objet la fourniture et l'installation de pompes et système d’abattement pour un équipement de gravure LAM VERSYS 5 Le marché est alloti de la façon suivante : Lot n°1 : Système de pompage Lot n°2 : Système d’abattement Lot 1: Fourniture et installation de pompes Le présent marché a pour objet la fourniture et l'installation de 4 pompes sèches pour un équipement de gravure LAM VERSYS 5. Lot 2: Fourniture et installation de système d'abattement Le présent marché concerne la fourniture et l'installation de système d'abattement pour un équipement de gravure LAM VERSYS 5 installé au CEA-LETI, comprenant 3 chambres de gravure et un stripper. Options facultatives : Les options suivantes sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché : o Transformateur d’alimentation
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