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Équipements de systèmes de pompes pour un implanteur VIISTA 900 3D

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Buyer

CEA/Grenoble

Value

33,005.8 EUR

Current supplier

PFEIFFER VACCUM SAS

Description

Le présent marché a pour objet de fixer les conditions selon lesquelles le CEA confie au Titulaire, qui accepte, la fourniture et l'installation de deux systèmes de pompage ainsi qu'un système d'abattement des effluents d'un équipement d'implantation ionique. Lot 1: Système de pompage primaire sec Fourniture d'un système de pompage primaire sec Lot 2: Système de pompage primaire Système de pompage turbo moléculaire Lot 3: Système de pompage primaire Système d'abattement

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CPV Codes

31712000 - Microelectronic machinery and apparatus and microsystems
42122000 - Pumps
42122500 - Laboratory pumps and accessories
42122400 - Centrifugal pumps and liquid elevators
42122300 - Pressure boosters for liquids
42122200 - Reciprocating positive-displacement pumps for liquids
42122100 - Pumps for liquids
42120000 - Pumps and compressors

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