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Fourniture et installation de Pompes et système d’abattement des effluents d’une machine de dépôts LPCVD
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Description
La présente consultation concerne la fourniture et installation de pompes et système d’abattement des effluents d’une machine de dépôts LPCVD. Le marché est alloti de la façon suivante : Lot n°1 : Système de pompage Lot n°2 : Système d’abattement Lot 1: Système de pompage Le présent marché concerne la fourniture et l'installation de pompes pour un équipement ASM 300mm type four vertical équipé de deux réacteurs LPCVD. Options facultatives : Les options suivantes sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché : o Système de régulation de température / refroidissement o Transformateur d’alimentation Lot 2: Système d’abattement Le présent marché concerne la fourniture et l'installation d'un système de traitement des effluents de gaz pour un équipement ASM 300mm type four vertical équipé de deux réacteurs LPCVD. Options facultatives : Les options suivantes sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché : o Système de régulation de température / refroidissement o Transformateur d’alimentation
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