Vacuum ovens

Description

Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines RTP Ofens, eines Ofens der sehr steile Aufheiz- und Abkühlrampen durchführen kann, im Reinraum der NaMLab gGmbH im ersten Stock eines Büro- und Laborgebäude in 01187 Dresden, Nöthnitzer Str. 64 a. Die Anlage wird in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) aufgestellt. Sie muss kompatibel zu CMOS-Standards sein. Der RTP Ofen soll für die thermische Bearbeitung von dünnen Schichten und mikro- und nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt werden. Dazu muss er in der Lage sein, Wafer bis 200 mm in einer atmosphärischen und Vakuumumgebung zu bearbeiten. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines RTP Ofens, eines Ofens der sehr steile Aufheiz- und Abkühlrampen durchführen kann, im Reinraum der NaMLab gGmbH im ersten Stock eines Büro- und Laborgebäude in 01187 Dresden, Nöthnitzer Str. 64 a.