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Microelectronic machinery and apparatus and microsystems
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Description
Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts ALD/PEALD/PECVD de matériaux diélectrique (SIO2, SIN, Low K, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 50 et 550°C... Il sera installé dans les salles blanches Microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24. Système multi-réacteurs de dépôts ALD/PEALD/PECVD de matériaux diélectrique (SIO 2, SIN, Low K, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L'équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 50 et 550°C... Il sera installé dans les salles blanches Microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.
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Awarded
Acquisition d'une machine de micro-structuration de verre 3D par laser pour le compte du LAAS-CNRS
CNRS - Délégation Occitanie Ouest - M. Christophe GIRAUD, Délégué régional
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1 EUR
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