Special-purpose machine tools

Description

Lieferung und Installation einer Zwei-Photonen-Lithografieanlage sowie die Einweisung in den Betrieb des Gerätes. Die Aufgabe des Gerätes ist die lithografische Herstellung mikro- und nanostrukturierter Elemente zur Umsetzung von grundlagen- und anwendungsorientierten Forschungsvorhaben sowie zur Forschung an der Technologie selbst. Im Detail unterstützt das Gerät fachgebietsübergreifend die Forschung in den Themengebieten Mikrofluidik, Mikromechanik, Mikrooptik, Nanophotonik. In allen Bereichen ist eine weitere Miniaturisierung und Detailgraderhöhung bei der Herstellung von Bauteilen und Strukturen zum Prinzipnachweis bis zur prototypischen Umsetzung adressiert. Dabei sind insbesondere großflächige und komplexe dreidimensionale Strukturen Bestandteil der Forschung. Konkret benannte Anwendungsfelder sind: — Quantennanodots; — Großflächige Beugungsoptiken; — Mikrooptische Gesamtsysteme; — Faseroptische Anwendungen; — Mikrofluidische Strukturen. Lieferung und Installation einer Zwei-Photonen-Lithografieanlage sowie die Einweisung in den Betrieb des Gerätes. Die Aufgabe des Gerätes ist die lithografische Herstellung mikro- und nanostrukturierter Elemente zur Umsetzung von grundlagen- und anwendungsorientierten Forschungsvorhaben sowie zur Forschung an der Technologie selbst. Im Detail unterstützt das Gerät fachgebietsübergreifend die Forschung in den Themengebieten Mikrofluidik, Mikromechanik, Mikrooptik, Nanophotonik. In allen Bereichen ist eine weitere Miniaturisierung und Detailgraderhöhung bei der Herstellung von Bauteilen und Strukturen zum Prinzipnachweis bis zur prototypischen Umsetzung adressiert. Dabei sind insbesondere großflächige und komplexe dreidimensionale Strukturen Bestandteil der Forschung. Konkret benannte Anwendungsfelder sind: — Quantennanodots; — Großflächige Beugungsoptiken; — Mikrooptische Gesamtsysteme; — Faseroptische Anwendungen; — Mikrofluidische Strukturen. Zusätzlich wird eine Wartung, Gewährleistung und Schulung gefordert. Vorführgeräte sind unter voller Garantie-Erfüllung zulässig.