Focused Ion Beam (FIB) System zur Präparation von Querschnitten und TEM Lamellen

Description

Für die Untersuchung von Dünnschichtmembranen mittels Transmissionselektronenmikroskopie wird ein automatisiertes System für Focused Ion Beam (FIB)-Prozesse für High-Thruoghput TEM Lamellen Präparationen benötigt. Es sollen Polituren und Schnitte erzeugt werden, durch die eine aufgesputterte Schicht inklusive Substrat auf mikroskopischer Ebene detailliert untersucht werden können hinsichtlich ihrer Homogenität, Korngrößen und Schichtdicken. Lot 1: 1. Focused-Ion-Beam System: — Ga-Flüssigmetall Ionenquelle, — Vergrößerungsbereich: 200-fach bis 300 000-fach, — Beschleunigungsspannung 1-30 kV, — Stahlstrommessung und Einstellung, — motorgesteuerte Wechselblende, — Garantierte Auflösung im einstelligem nm Bereich. 2. Probenstage: — Vollmotorisiert, — Spezialisiert für Bulkproben, — Freie Bewegung entlang aller Raumkoordinaten (x,y,z) sowie Rotation und kippen der Probe muss möglich sein, — Probenkammerbeleuchtung. 3. Software Anforderungen: — Funktionen zur 2D und 3D Bildaufnahme mit Helligkeits- und Kontrasteinstellungen, — Funktion zur TEM Lamellapreparation, — Milling Funktion in einstellbarer Geschwindigkeit, — Analysemöglichkeit zur Korngrößenverteilung. 4. Weitere Spezifikationen: — Probenschleuse, — System zur Messung des Probenstroms, — Pneumatisch ein- und ausfahrbares Gaseinlassystem (GIS), — Schwingungsgedämpft. Sonstige Mindestanforderungen — Software mit automatischer Funktion zur TEM Lamellen Präparation Eine Automatische Präparation auch mehrerer TEM-Lamellen ohne Aufsicht und Präparation von Proben mit unebener Oberfläche erforderlich — Ex-situ Liftout System Gripper Liftout-System zum einfachen, sicheren und schnellen Transfer von vorgeschnitten TEM-Lamellen auf TEM-Gittern — Integration am INP Installation und Inbetriebnahme des Systems beim INP mit entsprechender Laborabnahme und anschließendem Training vor Ort sind erforderlich — PC mit Windows 10, Monitor und Standarteingabegeräten Ausschlusskriterien: — Die Möglichkeit zur automatisierten TEM Lamellen Präparation ist zwingend zu erfüllen.