Dry-etching equipment

Description

Il s’agit d’un marché de fournitures alloti et mono-attributaire pour chacun des lots. Le marché (1 par lot) a pour objet la livraison, l’installation et la mise en service de 2 machines. 1 machine de gravure ionique réactive (RIE), 1 machine de dépôt chimique (PE-ALD). Chaque marché inclut également une formation à l’utilisation et à la maintenance de 1er niveau des équipements et une formation à la sécurité des personnels. Ces formations seront assurées par le prestataire et pourront être suivies par au moins 4 personnes. Le lot 1 est un accord-cadre découpé en 3 tranches (ferme + 2 optionnelles). Le lot 2 est un accord-cadre découpé en 3 tranches (ferme et 2 optionnelles). Chaque lot s'exécute en partie par l'émission de bons de commande. — tranche ferme: fourniture, installation et mise en ordre de marche d'un marche de gravure RIE ainsi qu’une formation à l’utilisation et à la maintenance de 1er niveau et une formation à la sécurité des personnels. Ces formations pourront être suivies par 4 personnes, — tranche optionnelle nº 1: extension de garantie de 12 mois pour la machine de gravure RIE, — tranche optionnelle nº 2: contrat de maintenance préventive de la machine RIE démarrant à l’issue de la période de garantie initiale de 12 mois (ou de celle du titulaire si celle-ci est plus longue) ou de son extension éventuelle. Contrat de 1 an et renouvelable annuellement par reconduction tacite pour une durée totale de 4 ans, — partie à bons de commande: pendant la durée de l'accord-cadre du lot 1, des bons de commande pourront être passés pour l'acquisition d'accessoires pour la machine RIE. — Tranche ferme: fourniture, la livraison et la mise en ordre de marche à poste d’une machine de dépôt chimique de couches atomiques avec plasma (PE-ALD) ainsi qu’une formation à l’utilisation et à la maintenance de 1er niveau et une formation à la sécurité des personnels pour 4 personnes, — tranche optionnelle nº 1 – Extension de garantie de 1 an de la machine PE-ALD, — tranche optionnelle nº 2 — Contrat de maintenance préventive de la machine PE-ALD démarrant à l’issue de la période de garantie initiale de 12 mois de la tranche ferme (ou de celle du titulaire si celle-ci est plus longue) ou de son extension éventuelle. Il est conclu pour une durée de 1 an et renouvelable annuellement par reconduction tacite pour une durée totale de 4 ans. Partie à bons de commande: pendant l'exécution de l'accord-cadre, des bons de commandes pourront être passés pour l'acquisition d'accessoires destinés à la machine PE-ALD.