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Fourniture et installation d’un système de dépôt de couches minces métalliques et de matériaux nitrurés par pulvérisation avec sas de chargement.
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Description
Dans le cadre du CPER IMITECH 2021 et du PIA NANOFUTUR, l'IEMN (Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie) souhaite faire l'acquisition d'un équipement de dépôt de couches minces par pulvérisation cathodique. Lot 1: Dans le cadre du CPER IMITECH 2021 et du PIA NANOFUTUR, l'IEMN (Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie) souhaite faire l'acquisition d'un équipement de dépôt de couches minces par pulvérisation cathodique.
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