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Fourniture et installation d’un système de dépôt de couches minces métalliques et de matériaux nitrurés par pulvérisation avec sas de chargement.

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Buyer

CNRS délégation régionale Hauts-de-France

Value

1,333,000 EUR

Current supplier

Microtest

Description

Dans le cadre du CPER IMITECH 2021 et du PIA NANOFUTUR, l'IEMN (Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie) souhaite faire l'acquisition d'un équipement de dépôt de couches minces par pulvérisation cathodique. Lot 1: Dans le cadre du CPER IMITECH 2021 et du PIA NANOFUTUR, l'IEMN (Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie) souhaite faire l'acquisition d'un équipement de dépôt de couches minces par pulvérisation cathodique.

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