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Awarded contract

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Dry-etching equipment

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Buyer

Université de Franche-Comté

Value

156,453 EUR

Current supplier

SPTS Technologies

Description

Mise à niveau d'une machine de gravure STS-APS et remplacement du générateur RF de la machine de gravure STS-APS. Mise à niveau d'une machine de gravure STS-APS. Remplacement du générateur RF de la machine de gravure STS-APS.

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–

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CPV Codes

22520000 - Dry-etching equipment
31120000 - Generators
31128000 - Turbogenerator
31127000 - Emergency generator
31124000 - Steam-turbine generator and related apparatus
31122000 - Generator units
31121000 - Generating sets
31100000 - Electric motors, generators and transformers

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