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acquisition d'un réacteur de gravure réactive rie (rie-icp) pour le laboratoire Icube de l'université de Strasbourg

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Buyer

Université de Strasbourg

Value

345,000 EUR

Current supplier

plasma-therm Europe

Description

il s'agit d'acquérir un réacteur rie / icp complet avec un sas d'introduction et un système de neutralisation de gaz type scrubber pour les gaz corrosifs, installés en salle blanche Lot 1: il s'agit d'acquérir un réacteur rie / icp complet avec un sas d'introduction et un système de neutralisation de gaz type scrubber pour les gaz corrosifs, installés en salle blanche. La livraison, l'installation, la formation, la mise en service et une garantie de 1 an minimum sont comprises dans les prestations du marché

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CPV Codes

22520000 - Dry-etching equipment
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50400000 - Repair and maintenance services of medical and precision equipment
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