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X-ray inspection equipment

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Buyer

CEA Centre de Grenoble

Value

1 EUR

Current supplier

Bruker JV UK

Description

Le CEA LETI recherche pour ses travaux en nanoélectronique avancé, un équipement de métrologie par rayonnement X capable de traiter à la fois des plaques de 200 et 300 mm de diamètre. L'équipement devra permettre de mesurer des monocouches ou des empilements de couches minces, en mode réflectométrie et diffraction (analyse des phases, haute résolution, « in plane » diffraction), avec une taille de spot inférieure à 200*200µm2.. L'équipement sera entièrement automatique. Il sera installé dans les salles blanches du CEA LETI à Grenoble pour une utilisation 24h/24h. Un équipement de métrologie par rayonnement X.

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38582000 - X-ray inspection equipment
38580000 - Non-medical equipment based on the use of radiations

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