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Steam generators
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Evatec Europe GmbH
Description
Das Fraunhofer ISIT plant im Rahmen des Projektes „Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland“ (FMD) des BMBF für den MEMS Reinraum die Beschaffung einer neuen PVD Anlage für das Aufdampfen von Dünnschichtstapel aus Germanium und Zinkselenid mit Schichtdicken im Bereich von jeweils 1-2 μm. Daneben soll die Anlage auch für das Aufdampfen metallischer Schichtstapel aus Gold und Zinn für das Präzisionslöten optischer Komponenten genutzt werden Das Fraunhofer ISIT plant im Rahmen des Projektes „Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland“ (FMD) des BMBF für den MEMS Reinraum die Beschaffung einer neuen PVD Anlage für das Aufdampfen von Dünnschichtstapel aus Germanium und Zinkselenid mit Schichtdicken im Bereich von jeweils 1-2 μm. Daneben soll die Anlage auch für das Aufdampfen metallischer Schichtstapel aus Gold und Zinn für das Präzisionslöten optischer Komponenten genutzt werden.
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