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Microelectronic machinery and apparatus and microsystems
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Description
Acquisition, livraison et installation d'une machine de gravure ionique réactive par plasma en mode de couplage capacitif (RIE-CCP) capable de réaliser des usinages aussi bien sur des substrats diélectriques (SiOx, SiNx) que sur des substrats semi-conducteurs (Si) ou sur des substrats durs à graver comme le LiNbO3 ou le PZT, avec une excellente verticalité des flancs (proche de 90 degrés) et une excellente sélectivité. Acquisition, livraison et installation d'une machine de gravure ionique réactive par plasma en mode de couplage capacitif (RIE-CCP) capable de réaliser des usinages aussi bien sur des substrats diélectriques (SiOx, SiNx) que sur des substrats semi-conducteurs (Si) ou sur des substrats durs à graver comme le LiNbO3 ou le PZT, avec une excellente verticalité des flancs (proche de 90 degrés) et une excellente sélectivité. L’équipement sera installé dans une salle blanche de classe ISO7 au laboratoire FEMTO-ST.
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Awarded
Acquisition d'une machine de micro-structuration de verre 3D par laser pour le compte du LAAS-CNRS
CNRS - Délégation Occitanie Ouest - M. Christophe GIRAUD, Délégué régional
700,000 EUR
Published 4 years ago
CEA/Grenoble
1 EUR
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