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Miscellaneous special-purpose machinery

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Value

1,628,000 EUR

Current supplier

FHR Anlagenbau GmbH

Description

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von einer Depositionsanlage (Kathodenzerstäubungssystem) zur Prozessierung von unterschiedlichsten Substraten mittels (konfokalem) DC- und RF- Sputtern im Sputter-down-Modus. Komplettsystem zur kontaminationsfreien Abscheidung von Dünnschichten. Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von einer Depositionsanlage (Kathodenzerstäubungssystem) zurProzessierung von unterschiedlichsten Substraten mittels (konfokalem) DC- und RF- Sputtern im Sputter-down-Modus. Komplettsystem zur kontaminationsfreien Abscheidung von Dünnschichten.

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