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Tabletop Lithografie Direktschreib-Systems mit sub-?m Auflösung
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Description
Beschaffung eines präzisen Lithografie Direktschreib-Systems geeignet für Substraten mit unterschiedlichen Größen bestehend aus einem Laser-Modul mit <= 400 nm Auflösung, eine Direktschreiboption zum Schnellschreiben größerer Flächen, mit automatischer motorisierter Höheneinstellungsoptionen sowie einer Graustufenschreiboption.
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