Réalisation de prestations de caractérisation par spectrométrie de masse ions secondaires ou SIMS

Description

Dans le cadre de ses activités de R&D dans les domaines des micro et nanotechnologies et des Energies Nouvelles, le CEA/LETI Grenoble souhaite confier à un prestataire les prestations de caractérisation de matériaux par la technique SIMS–Secondary Ions Mass Spectrometry. Le prestataire réalisera l'analyse SIMS sur les échantillons du LETI avec des conditions expérimentales appropriées (faisceau ionique, énergie du faisceau, ...) pertinentes pour le problème analytique. Le présent accord-cadre comprend 2 lots : - LOT 1 la caractérisation des matériaux “II-VI” (HgCdTe, CdTe, CdZnTe.), - LOT 2 concerne les caractérisations des autres matériaux (Si, SiGe, GaN, InGaN, AlGaN, ZnO, GaAs, InSb, InP, AlInSb,… SiO2, SiN, Si3N4,..couches métalliques.) Concernant l'attribution des lots, il est précisé que : • Le CEA se réserve la possibilité d’attribuer chacun des lots à des Titulaires différents. • Chaque Titulaire ne pourra être titulaire que d’un seul lot. • Chaque lot sera analysé séparément Lot 1: La caractérisation des matériaux “II-VI” (HgCdTe, CdTe, CdZnTe…) Les échantillons à caractériser sont des dispositifs réalisés dans les laboratoires du CEA Grenoble. Ils sont constitués des matériaux issus de procédés d’implantations, dépôts, épitaxie, etc. dans des matrices semiconductrices ou isolantes. Les informations attendues sont des distributions d’éléments chimiques en fonction de la profondeur pour des échantillons pouvant se trouver sous la forme de multicouches ou de matériaux massifs, les profondeurs d’analyses pouvant se situer entre quelques nm et plusieurs microns. Les quantités annuelles d'échantillons sont estimées à environ 100 (ne représente pas un engagement du CEA). Il a été indiqué 1.00 à la rubrique "montant" uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de la prestation sans violer le secret des affaires. Lot 2: Les caractérisations des autres matériaux (Si, SiGe, GaN, InGaN, AlGaN, ZnO, GaAs, InSb, InP, AlInSb,… SiO2, SiN, Si3N4,….couches métalliques… ) Les échantillons à caractériser sont des dispositifs réalisés dans les laboratoires du CEA Grenoble. Ils sont constitués des matériaux issus de procédés d’implantations, dépôts, épitaxie, etc. dans des matrices semiconductrices ou isolantes. Les informations attendues sont des distributions d’éléments chimiques en fonction de la profondeur pour des échantillons pouvant se trouver sous la forme de multicouches ou de matériaux massifs, les profondeurs d’analyses pouvant se situer entre quelques nm et plusieurs microns. Les quantités annuelles d'échantillons sont estimées à environ 300 (ne représente pas un engagement du CEA). Il a été indiqué 1.00 à la rubrique "montant" uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de la prestation sans violer le secret des affaires.