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Ion microscopes
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Description
Le CEA/LETI souhaite acquérir un microscope FIB permettant «l'édition» de circuits intégrés par gravure des différentes couches les composant. L'équipement devra permettre de traiter/modifier les dernières générations de circuits intégrés aussi bien parleur face avant que par leur face arrière, tout en préservant leur fonctionnalité. L'équipement sera installé dans les locaux du CEA-LETI et fonctionnera 24 heures sur 24 et 7 jours sur 7. Un microscope FIB.
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Université d'Aix-Marseille
3,200,089 EUR
Published 2 years ago
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