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907 21 24 - système de dépôt par technique de pulvérisation cathodique DC pulsé et RF
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Description
la Plateforme PLATINOM du laboratoire XLIM souhaite s'équiper d'un système neuf de dépôt sous vide par pulvérisation cathodique DC pulsé et RF pour la réalisation de couches nanométriques de matériaux oxydes à partir de cibles métalliques ou isolantes. Voir détail dans le CCTP Lot 1: la Plateforme PLATINOM du laboratoire XLIM souhaite s'équiper d'un système neuf de dépôt sous vide par pulvérisation cathodique DC pulsé et RF pour la réalisation de couches nanométriques de matériaux oxydes à partir de cibles métalliques ou isolantes. Voir détail dans le CCTP
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