PVD-Bandbeschichtungsbereich (drei Vakuumkammern mit Zwischenkammern) - PR194001-2620-W

Description

PR194001-2620-W MalOle PVD-Bandbeschichtungsbereich (drei Vakuumkammern mit Zwischenkammern) Lot 1: Im Rahmen eines Projekts ist die Erweiterung unserer Anlagentechnik vorgesehen. Wir planen einen Vaku-um-Bandbeschichtungsbereich aus drei Vakuumkammern mit zwei Zwischenkammern, für eine bestehende Bandanlage. Der Vakuumbeschichtungsbereich ist schematisch in der Abbildung 1 zu sehen. Ziel ist es bei Bandgeschwindigkeiten von bis zu 10 m/min eine gleichmäßige Abscheidung von Beschichtungen mittels PVD-Verfahren. Das verwendete Substrat ist ein Stahlband mit einer Breite von 300 mm und einer Band-stärke von 0,05 - 0,2 mm. In den Kammern werden u.a. Verdampfungssysteme aus eigener Entwicklung installiert, die nicht Bestandteil dieser Ausschreibung sind. Projektträger Jülich Teilvorhaben HP2BPP - Hochratenfähiges Fügen von Bipolarplatten aus zwei Halbplatten