Fourniture d'un Equipment de Metal Organic Vapour Phase Epitaxy (MOVPE)

Description

Le CEA Leti souhaite acquérir une machine MOVPE pour ces dépôts de Nitrure de Galium pour ses activités de recherches sur les transistors de puissance et micro display. Cet équipement doit être capable de traiter des substrats silicium d’un diamètre de 200 mm et 300 mm. Il devra être équipé d’un transfert automatique de plaques avec port de chargement. Cet équipement sera installé dans les salles blanches du CEA LETI où il sera utilisé sept jours sur sept et 24 heures sur 24. Lot 1: Le CEA Leti souhaite acquérir une machine MOVPE pour ces dépôts de Nitrure de Galium pour ses activités de recherches sur les transistors de puissance et micro display. Cet équipement doit être capable de traiter des substrats silicium d’un diamètre de 200 mm et 300 mm. Il devra être équipé d’un transfert automatique de plaques avec port de chargement. Cet équipement sera installé dans les salles blanches du CEA LETI où il sera utilisé sept jours sur sept et 24 heures sur 24.