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Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

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Value

261,000 EUR

Current supplier

Vinci Technologies

Description

L’objet comprend la fourniture, la livraison et l’installation d’un système de dépôt par pulvérisation cathodique (confocal et off axis) pour des dépôts d’oxydes et de métaux sur substrats deux pouces et d’une préchambre UHV pour le stockage et transfert d’échantillons vers le bâti. Acquisition d’un bâti de pulvérisation cathodique HV pour l’Institut des nanotechnologies de Lyon – UMR5270 CNRS.

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