Stotles logo

Awarded contract

Published

Elektronenstrahl-Lithografieanlage

45 Suppliers have already viewed this notice

Track & Win Public Sector Contracts and Tenders. Sign up for Free

Value

1,585,000 EUR

Current supplier

Jeol (Germany) GmbH

Description

Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO 14644-1) betrieben. Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen. Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen. Lot 1: Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO 14644-1) betrieben. Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen. Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.

Unlock decision maker contacts.

Create a Free Account on Stotles

Stotles is your single source for government tenders, contracts, frameworks and much more. Sign up for free.

Explore similar pre-tenders, open or awarded contracts

Browse open tenders, recent contract awards and upcoming contract expiries that match similar CPV codes.

Universität Duisburg-Essen

Published 3 years ago

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)

1,001 EUR

Published 3 years ago

Max-Planck-Institut für Biochemie

Published 3 years ago

Max-Planck-Institut für biophysikalische Chemie

0 EUR

Published 3 years ago

Universität Siegen

1 EUR

Published 5 years ago

Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V.-Max-Planck-Institut für Festkörperforschung

1 EUR

Published 6 years ago

Max-Planck-Institut für Biochemie

Published 7 years ago

Sign up to the Stotles Tender Tracker for free

Find even more contracts with advanced search capability and AI powered relevance scoring.