Acoustic microscopes

Description

Le CEA-LETI souhaite acquérir un microscope acoustique automatique. Cet outil sera compatible avec un environnement de travail de type salle blanche. Il devra permettre de caractériser les interfaces de collage de différentes structures: collages moléculaires ou collages avec adhésif. Il traitera des plaquettes collées de 200 et 300 mm de diamètre, qu’il s’agisse de plaquettes collées avec des plaquettes ou de puces collées sur des plaquettes. L’automatisation prendra en charge la manipulation des plaquettes depuis leur conteneur de stockage, l’analyse acoustique au moyen de paramètres prédéfinis et mémorisés selon la structure et enfin le séchage des plaquettes avant le retour en conteneur. Deux configurations pourront être proposées: soit un équipement comprenant une seule station de mesure (lot 1), soit un équipement comprenant deux stations de mesures indépendantes (lot 2). Le CEA-LETI souhaite acquérir un microscope acoustique automatique. Cet outil sera compatible avec un environnement de travail de type salle blanche. Il devra permettre de caractériser les interfaces de collage de différentes structures: collages moléculaires ou collages avec adhésif. Il traitera des plaquettes collées de 200 et 300 mm de diamètre, qu’il s’agisse de plaquettes collées avec des plaquettes ou de puces collées sur des plaquettes. L’automatisation prendra en charge la manipulation des plaquettes depuis leur conteneur de stockage, l’analyse acoustique au moyen de paramètres prédéfinis et mémorisés selon la structure et enfin le séchage des plaquettes avant le retour en conteneur. Le lot 1 correspondant à la première configuration possible de l'équipement: fourniture d’un microscope acoustique automatique comprenant une station de mesure. Le CEA-LETI souhaite acquérir un microscope acoustique automatique. Cet outil sera compatible avec un environnement de travail de type salle blanche. Il devra permettre de caractériser les interfaces de collage de différentes structures: collages moléculaires ou collages avec adhésif. Il traitera des plaquettes collées de 200 et 300 mm de diamètre, qu’il s’agisse de plaquettes collées avec des plaquettes ou de puces collées sur des plaquettes. L’automatisation prendra en charge la manipulation des plaquettes depuis leur conteneur de stockage, l’analyse acoustique au moyen de paramètres prédéfinis et mémorisés selon la structure et enfin le séchage des plaquettes avant le retour en conteneur. Le lot 2 correspondant à la deuxième configuration possible de l'équipement: fourniture d’un microscope acoustique automatique comprenant deux stations de mesure indépendantes.