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Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

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Value

792,975 EUR

Current supplier

3D Micromac AG

Description

— le présent marché a pour objet la fourniture, la livraison, l'installation, la mise en service et la formation à l'utilisation d'équipements scientifiques destinés au Centre d'études et de recherches technologiques en microélectronique (CERTEM) phase 2020, dans le cadre de la 6e tranche d'acquisition (6e tranche). — le but du présent système est de réaliser, par recuit laser, des contacts ohmiques sur SIC (Substrats amincis ou échantillons) en irradiant des couches de métaux (nickel...) de quelques dizaines à quelques centaines de nm d'épaisseur, déposées sur du SIC de 100 μm à 1 mm d'épaisseur; — le système proposé devra permettre la réalisation de contacts ohmiques en face arrière du SIC, sans dégrader la face avant. — l'acquisition d'une chambre semi-anéchoïque a pour objectif de mesurer les perturbations émises par les convertisseurs développés par le laboratoire Greman et de pourvoir les étudier dans un environnement électromagnétique maîtrisé.

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