EQUIPEMENT DE CO-PULVERISATION CATHODIQUE POUR LA SYNTHESE COMBINATOIRE DE MATERIAUX

Description

Fourniture d’un équipement de pulvérisation cathodique magnétron pour la synthèse combinatoire de matériaux en couches minces de type oxydes, nitrures, oxy-nitrures et métaux Lot 1: La consultation concerne, la fourniture d’un équipement de co-pulvérisation cathodique pour la synthèse combinatoire de matériaux. L’équipement devra être installé sur le site du CEATECH Nouvelle Aquitaine situé à Pessac (33). La consultation comprend les prestations supplémentaires éventuelles (PSE) suivantes : - PSE n° 1 : 3 alimentations de type HiPIMS - PSE n° 2 : une pompe primaire sèche supplémentaire pour le pompage primaire de la chambre de dépôt - PSE n° 3 : SAS de chargement multi-étages pour 5 palettes et 4 palettes supplémentaires pour wafers de 4 pouces - PSE n° 4 : 3ème jeu d’écran de protection de la chambre de dépôt et d’éléments démontables type caches et cheminées Le CEA a levé la PSE n° 1. Le marché comprend une tranche optionnelle pour le déménagement de l’équipement sur le site du CEATCH Nouvelle Aquitaine. Cette tranche est éventuellement affermie par le CEA dans un délai de 2 ans à compter de la notification du marché.