Electric motors, generators and transformers

Description

Předmětem veřejné zakázky je dodávka speciálního přístrojového vybavení pro účely zajištění aktivit projektu dle dále uvedené specifikace. Předmětem veřejné zakázky je vedle samotné dodávky také zajištění záručního servisu. Podrobná technická specifikace je uvedena viz odst. 2.2 Dokumentace. Předmětem 1. části veřejné zakázky s názvem „Systém DC generátorů pro hybridní MF magnetronové naprašování" je stavební blok systému pro depozici z plazmatu. Systém generátorů je určen pro tří magnetronový naprašovací systém, kde dva magnetrony pracují v pulsním (Medium Frequency) DC módu a jeden magnetron v DC módu.Dodávka se skládá z: i) jednoho pulzního DC generátoru dvoukanálového, ii) jednoho DC generátoru včetně softwarového vybavení. Předmětem 2. části veřejné zakázky s názvem „Systém RF generátorů s automaticky řízenými přizpůsobovacími jednotkami pro hybridní 13,56 MHz a 27,12 MHz naprašování“ je stavební blok systému pro depozici z plazmatu. Systém RF generátorů pro dvoumagnetronovou ko-depozici, kde jeden magnetron je rozprašován výbojem s frekvencí 13,56 MHz a druhý při frekvenci 27,12 MHz. Dodávka se skládá z: i) jednoho RF generátoru pracujícího na frekvenci 27,12 MHz spolu s příslušnou přizpůsobovací jednotkou pro kapacitní plazma; ii) jednoho RF generátoru pracujícího na frekvenci 13,56 MHz spolu s příslušnou přizpůsobovací jednotkou pro kapacitní plazma. Předmětem 3. části veřejné zakázky s názvem „Magnetronový naprašovací systém“ jsou kruhové planární magnetrony: a) Magnetronový naprašovací zdroj 1 s rozšířenou celkovou odprašovanou plochou, založenou na systému umožňující generování odprašovacího plazmatu rastrující celou plochu odprašovaného terče. b) Magnetronový naprašovací zdroj 2 s nastavitelnými magnetickými vlastnostmi na povrchu odprašovaného terče během depozičního procesu nebo mezi depozičními cykly.