Miscellaneous special-purpose machinery

Description

Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD – Anlage) zur Abscheidung von Schichten und Schichtsystemen aus einzelnen unterschiedlichen Atomlagen. Es sollen sowohl dielektrische als auch metallische Schichten abgeschieden werden können, je nachdem welche Prozessgase eingesetzt werden. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD - Anlage) zur Abscheidung von Schichten und Schichtsystemen aus einzelnen unterschiedlichen Atomlagen. Es sollen sowohl dielektrische als auch metallische Schichten abgeschieden werden können, je nachdem welche Prozessgase eingesetzt werden. Die ALD – Anlage soll eine Prozesskammer und ein Ladekammer (load port) besitzen. Es sollen Proben und Scheiben (Wafer) mit einem Durchmesser von 200 mm prozessiert werden. Die Prozesskammer soll eine Gasdusche (showerhead) besitzen und der Gasfluss in der Prozesskammer von oben aus der Gasdusche nach unten zur Probe/ Scheibe erfolgen (top flow reactor / down stream reactor). Die Anlage wird in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) im ersten Stockwerk in der Nöthnitzer Straße 64 a, 01187 Dresden installiert und betrieben werden