Scanning electron microscopes

Description

Lieferung und Inbetriebnahme eines Rasterelektronenmikroskops mit Tieftemperatur-Stage zur Bestimmung von Materialkenngrößen von Supraleitern, Josephson-Kontakten, memristiven Werkstoffen und weiteren Werkstoffen. Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein Rasterelektronenmikroskop zu beschaffen, dass Materialuntersuchungen in einem Temperaturbereich von – 6 K bis zu mindestens Raumtemperatur ermöglicht. Es sollen physikalische Fragestellungen ortsaufgelöst beantwortet werden. Dabei spielen sowohl die Untersuchung und Charakterisierung von einzelnen Josephson-Kontakten, von Arrays aus Josephson-Kontakten und supraleitenden Mikrowellenschaltungen, von supraleitender Tunnelübergangsdetektoren, des Tiefentladungsdurchschlags von Halbleitern, von supraleitenden Tunnelübergänge, Variationen der Bandlücke und der Josephson-Stromdichte, der Anisotropie der Phononenausbreitung in Einkristallen als auch das Defektmapping in Einkristallen, das Mapping von in Supraleitern eingefrorenen Flussschläuchen, die Verteilung der kritischen Stromdichte und kritischen Temperatur in Supraleitern bzw. supraleitenden Schichten eine Rolle. Untersuchungsgegenstand sind u. a. dünne Filme aus Metallen, Metall-Oxiden und Nitriden für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen. Dafür sind sowohl in-situ elektrische Messungen als auch die Applikation von elektromagnetischen Feldern angedacht.