Équipements de systèmes de pompes pour un implanteur VIISTA 900 3D

Description

Le présent marché a pour objet de fixer les conditions selon lesquelles le CEA confie au Titulaire, qui accepte, la fourniture et l'installation de deux systèmes de pompage ainsi qu'un système d'abattement des effluents d'un équipement d'implantation ionique. Lot 1: Système de pompage primaire Système de pompage primaire sec. Il est demandé en : option 1 : système de régulation de température/refroidissement option 2 : transformateur d'alimentation option 3 : le coût du transport Lot 2: Système de pompage turbo moléculaire Équipement d'un système de pompage turbo-moléculaire Il est demandé en : option 4 : système de régulation de température/refroidissement option 5 : transformateur d'alimentation option 6 : le coût du transport Lot 3: Système d'abattement Système d'abattement. Il est demandé en : option 7 : système de régulation de température/refroidissement option 8 : transformateur d'alimentation option 9 : le coût du transport