Automated 200mm wafer probe - Kopie

Description

Lot1: Wafer-Antastsystem Es soll ein Waferprober für 200 mmm Wafer mit Waferlademodul und 2 motorisierten und programmierbaren Messsondenhalterungen beschafft werden. Die automatsche Ausrichtung des Wafers und das Positionieren der motorisierten Messsonden auf angelernten Pads und auf dem Impedanz-Standard-Substrat muss unterstützt werden. Die mechanisch passenden HF-Messsonden und kompatible Impedanz-Standard-Substrate sollen ebenfalls geliefert werden. Lot2: Netzwerkanalysator Es soll ein 50 GHz Netzwerkanalysator mit 2 Messtoren und 2 extern montierten Module zur elektronischen Kompensation der Parameterdrift des Messaufbaus beschafft werden. Lot 1: Lot1 (wafer prober): Automated 200mm wafer probe system for on wafer S-parameter measurements - Waferprober Lot1 (wafer prober): Automated 200mm wafer probe system for on wafer S-parameter measurements - Waferprober Lot 2: Lot2 (VNA): Automated 200mm wafer probe system for on wafer S-parameter measurements Lot2 (VNA): Automated 200mm wafer probe system for on wafer S-parameter measurements