Elektronenstrahllithographie System

Description

Lieferung eines Elektronenstrahllithographie System Lot 1: Das Elektronenstrahllithographie System soll im Rahmen des Projekts QSens für die Herstellung und Verwendung von Quantensensoren verwendet werden. Innerhalb des Projektes sollen Fehlstellenzentren in speziell strukturierte Diamantproben verwendet werden um neuartige und empfindlichere Sensoren herzustellen. Das Gerät wird benötigt, um mithilfe von Elektronenstrahllithographie, die Nanometer- bzw. Mikrometergroßen Strukturen aus bzw. auf Diamantproben zu erzeugen. Dies ist Voraussetzung für die angestrebte Empfindlichkeitssteigerung der Sensoren. zu II.2.7. Hier ist eine Lieferleistungen abgefragt. Es muss eine Eintragung in II.2.7. vorgenommen werden. Diese ist hier ein reine Platzhalter und ist nicht gültig. Bieterfragen können ausschließlich über das Vergabeportal eingereicht werden. Sämtliche Kommunikation im Verfahren findet über das Vergabeportal statt. Die Angebote sind über das Vergabeportal einzureichen.