Ozone generators

Description

Dans le cadre de l’achat d’un équipement de dépôt pour plaques semi-conducteur 300 mm, celui-ci nécessitera, pour la réalisation de ses procédés, la fourniture du gaz ozone (03). Dans le cadre de cette procédure, le CEA-LETI recherche donc un générateur d’ozone, équipé d’un destructeur intégré, qui devra avoir la capacité de communiquer avec l’équipement de dépôt. Ce générateur sera positionné au sous-sol de la salle blanche micro-électronique 300 mm du CEA-LETI. Dans le cadre de l’achat d’un équipement de dépôt pour plaques semi-conducteur 300 mm, celui-ci nécessitera, pour la réalisation de ses procédés, la fourniture du gaz ozone (03). Dans le cadre de cette procédure le CEA-LETI recherche donc un générateur d’ozone, équipé d’un destructeur intégré, qui devra avoir la capacité de communiquer avec l’équipement de dépôt. Ce générateur sera positionné au sous-sol de la salle blanche micro-électronique 300 mm du CEA-LETI.