GARA EUROPEA A PROCEDURA TELEMATICA APERTA PER L’AFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA PER ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) - CIG 98280478F2

Description

Oggetto della procedura è l’affidamento della “Fornitura di un sistema per Atomic Layer Deposition (ALD)” per il laboratorio PoliFAB del Politecnico di Milano. CIG 98280478F2 CUP B53C22004310006 Lot 1: Il sistema per ALD deve consentire la deposizione conforme di materiali dando flessibilità nella scelta degli stessi sia per via termica che tramite processo al plasma su wafer da 200 mm così come su campioni di dimensioni inferiori. Il macchinario deve essere dotato di tutto l’hardware necessario al suo corretto funzionamento incluse le sicurezze e del software/interfaccia utente per gestire i processi. M4, C2, “Investimento 3.1 Fondo per la realizzazione di un sistema integrato di infrastrutture di ricerca e innovazione”, “Azione di riferimento 3.1.1 Creazione di nuove IR o potenziamento di quelle esistenti che concorrono agli obiettivi di Eccellenza Scientifica di Horizon Europe e costituzione di reti"