Microscopes

Description

Die Beschaffung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Rasterkraftmikroskopes (RKM) in einem Laborraum der NaMLab gGmbH im Erdgeschoss eines Büro- und Laborgebäude in 01187 Dresden, Nöthnitzer Str. 64 a, welches zur strukturellen, physischen und elektrischen Analyse von Nanostrukturen dienen soll. Die Beschaffung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Rasterkraftmikroskopes (RKM) in einem Laborraum der NaMLab gGmbH im Erdgeschoss eines Büro- und Laborgebäude in 01187 Dresden, Nöthnitzer Str. 64 a, welches zur strukturellen, physischen und elektrischen Analyse von Nanostrukturen dienen soll. Das Rasterkraftmikroskop soll in einer Laborumgebung mit geregelter Temperatur und Luftfeuchte installiert werden. Eine vibrationsfreie Tool-Aufstellung auf Doppelbodenhöhe mit aktiver Dämpfung wird benötigt. Mit dem RKM sollen Wafer mit bis zu 200 mm Durchmesser geladen/analysiert werden können. Die Messspitze des RKM soll sich während der Messung bewegen und nicht die Stage.