Fourniture de paillasse de nettoyage de plaques de 200mm

Description

La procédure avec négociation a pour objet la création d'une paillasse de nettoyage comprenant 5 bacs d’une capacité de traitement de 25 wafers avec robot de chargement compatible panier chimie type « Entegris PFA 200mm de référence A192-81M-0215 ». Les contraintes dimensionnelles à respecter sont: - Longueur : 304cm, - Profondeur : 145cm, - Hauteur : 217cm. Lot 1: Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'une paillasse de nettoyage de plaques de 200mm. o Option n°1 (facultative) : ajout d’un générateur de mégasons pour le bac process SC1 (paragraphe 3.1.1 du Cahier des charges) o Option n°2 (facultative) : ajout d’un bac process HF (paragraphe 3.1.1 du Cahier des charges) o Option n°3 (facultative) : la maintenance avancée pour 2 personnes (paragraphe 8 du Cahier des charges) o Option n°4 (facultative) : prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020