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gara europea a procedura aperta per l'affidamento della fornitura e installazione di una stazione di misura high voltage probe station – CIG 8932708FD2
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Description
Fornitura e l’installazione di una stazione di misura (probe station) per la caratterizzazione elettrica di dispositivi elettronici di potenza su wafer a semiconduttore Lot 1: La probe station deve permettere ad un operatore di: i) alloggiare un wafer da 200mm (8 pollici) su di un supporto di testing (chuck); ii) individuare il campione da testare sul wafer mediante un microscopio digitale ed un opportuno sistema di visualizzazione ad esso accoppiato; iii) contattare elettricamente il campione da testare attraverso sonde connesse mediante cavi ed opportuni connettori/pannelli accessori alla strumentazione in grado di applicare e leggere i segnali elettrici di test (quest’ultima strumentazione non è oggetto della presente fornitura). La probe station deve poter operare in sicurezza con segnali di tensione di ampiezza fino a 10kV e deve permettere di modificare la temperatura del wafer oggetto dei test nel range fra -60°C e 300°C. Il funzionamento della probe station deve inoltre essere di tipo semi-automatico, deve cioè garantire la possibilità di misurare in sequenza molteplici campioni sul wafer senza che sia necessario l’intervento dell’operatore per il posizionamento e la contattatura di ciascuno di essi.
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