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Fornitura di un sistema di metrologia 3D

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Value

250,000 EUR

Close date

2021-06-30

Description

L'appalto è finalizzato alla fornitura di un sistema di metrologia 3D per lo sviluppo della Facility FBK «3D Integration» nel contesto del progetto di microelettronica IPCEI. Lot 1: Sistema metrologico per la valutazione e caratterizzazione finale dell’assottigliamento e la planarizzazione di fette di silicio di diversa struttura cristallina, principalmente <111> e <100>, che possono essere coperte da film sottili di: ossido di silicio, nitruro di silicio, tungsteno, nitruro di titanio, alluminio, rame, poli-silicio drogato e non drogato.

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