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Fornitura di un sistema di metrologia 3D
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Description
L'appalto è finalizzato alla fornitura di un sistema di metrologia 3D per lo sviluppo della Facility FBK "3D Integration" nel contesto del progetto di microelettronica IPCEI. Lot 1: Sistema metrologico per la valutazione e caratterizzazione finale dell’assottigliamento e la planarizzazione di fette di silicio di diversa struttura cristallina, principalmente <111> e <100>, che possono essere coperte da film sottili di: ossido di silicio, nitruro di silicio, tungsteno, nitruro di titanio, alluminio, rame, poli-silicio drogato e non drogato.
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