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Lieferung einer Reaktiven Ionenätzanlage zur Strukturierung voluminöser 3d- Körper und gekrümmter Oberflächen
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scia Systems GmbH
Description
Lieferung einer Reaktiven Ionenätzanlage zur Strukturierung voluminöser 3d-Körper und gekrümmter Oberflächen gemäß den Anforderungen der Leistungsbeschreibung (Anlage1 der Vergabeunterlagen) Lot 1: Das Gesamtsystem soll aus den folgenden Modulen bestehen: - Vakuum-Prozesskammer mit zugehöroger Pumpentechnik undReinraumseitiger Schleusenkammer - Plasmaquelle - Gassystem und Abgasreinigung - Kühlkreisläufe - Anlagensteuerung - Dokumenttion, Installation und Schulung Die funktionalen Anforderungen sind der Leistungsbeschreibung (Anlage 1 der Vergabeunterlagen) zu entnehmen.
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